Osrednja komponenta analizatorja vlažnosti in kisika je senzor kisika iz cirkonijevega oksida. Ta senzor uporablja elektrolitske lastnosti keramike iz cirkonijevega oksida za ustvarjanje elektromotorne sile, ki temelji na razliki parcialnega tlaka kisika v senzorju, kar omogoča merjenje koncentracije kisika. Hkrati se za natančno določanje vsebnosti vlage v plinu uporabljajo posebne merilne tehnike (kot je impedančna metoda, infrardeča metoda itd.). Senzor običajno vključuje grelno napravo za preprečevanje kondenzacije vodne pare v plinski komori, kar zagotavlja stabilne meritve v okoljih z visoko-temperaturo in visoko-vlažnostjo.
